產(chǎn)品詳情
高頻輸出 100~1,000W（V1000）/100~1,000W&1,500W（V1000X/1000XS）
電極尺寸 280×280mm（V1000） 300×300mm（V1000X） 400×375mm（V1000XS）
使用等離子的表面處理裝置。著(zhù)重于“使用簡(jiǎn)單”的臺式高性能型號，調取數據簡(jiǎn)單，以電子材料為中心，可對應多種用途。
特征
● 可變更電極構造提高等離子效果。
● 搭載高精度適配器，高性能RF 電源。
● 可根據需求規格提供定制。
用途
● 硅晶圓的灰化及蝕刻
● 基板表面污垢處理
● IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
● 半導體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗
● 自然氧化膜·有機物去除
● 界面活性處理
● 表面污染物去除
內槽
規格
| 型號 |
V1000 |
V1000X |
V1000XS |
| 等離子模式 |
DP/RIE |
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| 高頻電源 |
13.56MHz |
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| 輸出功率 |
Max1000W |
Max1000 & 1500W |
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| 有效電極尺寸 |
W280×D280mm |
W300×D300mm |
W400×D375mm |
| 電極 |
平行平板 |
2段電極（獨立） |
平板（多目的） |
| 反應氣體 |
聚合控制器2系統（填充氣路另行安裝） |
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| 真空泵（標配） |
約1000L/min |
約1500L/min |
1000 & 1500L/min |
| 安全裝置 |
門(mén)檢測開(kāi)關(guān)、聯(lián)鎖機構、緊急停止開(kāi)關(guān)、溫度過(guò)升防止器等 |
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管路連接圖
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