輸出:600W 電極尺寸:Φ215×305mm
小型、多段式等離子清洗機
用途
● 提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理
● 灰化、蝕刻處理
● 塑料封裝前處理
● 印刷基板鍍層前處理
● LED關(guān)聯(lián)部品處理
● 電子部品清洗
● 光刻膠剝離或表面殘留物去除
● 光學(xué)、金屬、機械部品等精密部件的清洗
● 包含氟化樹(shù)脂的樹(shù)脂類(lèi)產(chǎn)品表面改質(zhì)
● FCC對應
特征
● 600W的小型高輸出功率
● 電極可選擇1·2·3段(采購時(shí)指定)
● 可處理縱型的試料收納盒
● 可選擇RIE/DP模式(采購時(shí)指定)
● 數據記錄器(選配)
● 適配點(diǎn)記憶功能(選配)
等離子放電
內槽
等離子清洗機PDC610規格
型號 |
PDC610 |
等離子模式 |
RIE/DP(固定模式) |
電極構造 |
3段獨立平行平板(固定) |
高頻輸出 |
Max600W |
頻率 |
13.56MHz |
控制·顯示方式 |
PLC·觸摸屏 |
反應腔尺寸 |
W350×D270×H300mm |
反應腔材質(zhì) |
A5052 |
反應氣體 |
2系統(Ar、O 2 ) |
填充氣體 |
N 2 或干燥空氣 |
真空泵 |
油泵(約345L/分)·標配 |
外形尺寸 |
W600×D722×H700mm |
外裝材質(zhì) |
不銹鋼 |
電源 |
3相 AC200 50/60Hz 15A |