產(chǎn)品詳情
高頻輸出 300W（PDC200型）/500W（PDC210/510型）
電極尺寸 250×170mm（PDC200/210型）/410×170mm（PDC510型）
使用等離子的表面處理裝置。著(zhù)重于“使用簡(jiǎn)單”的臺式高性能型號，調取數據簡(jiǎn)單，以電子材料為中心，可對應多種用途。
等離子灰化機PDC200/210/510用途
● CSP、BGA、COB基板的等離子清洗
● 去除有機膜和金屬氧化膜
● 印刷電路基板的干式清洗
● 界面活性處理
● LED封裝
等離子灰化機PDC200/210/510特征
● DP模式（PDC510標配·PDC200/210選配）
● RIE模式
● 均勻性高的電極構造
● 操作簡(jiǎn)單的觸摸屏控制器
等離子灰化機PDC200/210/510內槽
構成圖
DP模式
PDC510標配）
PDC200/210選配）
RIE模式
等離子灰化機PDC200/210/510規格
| 型號 |
PDC200 |
PDC210 |
PDC510 |
| 等離子模式 |
RIE（DP模式選配） | ||
| 電極構造 |
平行平板（固定） | ||
| 高頻輸出 |
Max300W |
Max500W |
|
| 頻率 |
13.56MHz |
||
| 控制·顯示 |
液晶觸摸屏 |
||
| 反應室尺寸 |
W400×D250×H150mm |
W500×D300×H200mm |
|
| 電極尺寸 |
W250×D170mm |
W400×D200mm |
|
| 反應室材質(zhì) |
鋁 |
||
| 反應氣體 |
2系統（Ar、O 2 ） |
||
| 填充氣體 |
N 2 或干燥空氣 |
||
| 反應氣體流量控制 |
流量計 |
聚合控制器 |
|
| 真空泵 |
另行選配 |
油泵（約345L/分）標配 |
油泵（約500L/分）標配 |
| 氣體導入口 |
反應氣體2個(gè)、填充氣體1個(gè) |
||
| 外形尺寸 |
W540×D600×H600mm |
W540×D600×H600mm |
W700×D700×H1285mm |
| 重量 |
約100kg |
約105kg |
約180kg |
| 電源 |
單相 AC100V 10A |
三相AC200V 6A |
三相AC200V 8A |
相關(guān)產(chǎn)品
