產(chǎn)品詳情
高頻輸出 50~500W 反應腔 Φ215×305mm
低溫等離子·常規桶型。
PR500：手動(dòng)控制
PR510：自動(dòng)觸摸屏控制
此款低溫等離子灰化機采用自動(dòng)協(xié)調功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設備。
用途
●去除光刻膠
● 部品清洗
● 界面活性處理
● 微研磨
● 硅晶圓，玻璃基板對應
特征
● 大口徑（Φ215mm）石英反應腔
● 小型一體化設計
● 操作簡(jiǎn)單的觸摸屏方式（PR510型）
內槽
硅晶圓灰化狀態(tài)
等離子灰化機PR500/501規格
| 型號 |
PR500 |
PR510 |
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| 模式 |
DP模式，桶型 |
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| 控制部 |
高頻輸出功率 |
Max500W |
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| 頻率 |
13.56MHz |
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| 同調方式 |
自動(dòng)協(xié)調 |
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| 反應部 |
反應腔 |
石英 Φ215×305mm |
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| 反應氣體 |
2系統（O 2 ／CF 4 ） |
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| 控制 |
手動(dòng) |
觸摸屏自動(dòng)控制 |
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| 配管材質(zhì) |
不銹鋼、特氟龍 |
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| 外形尺寸 |
W438×D520×H760mm |
參照規格書(shū) |
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| 重量 |
約60kg |
參照規格書(shū) |
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| 電源 |
單相AC100V 9A |
三相AC200V 8A | |
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