半導體產(chǎn)業(yè)蝕刻清洗專(zhuān)用的聚氯乙烯制通風(fēng)柜
半導體產(chǎn)業(yè)不可或缺的蝕刻清洗專(zhuān)用通風(fēng)柜。 由于全部采用聚氯乙烯材料制造,具有抗強酸、堿等的耐腐蝕性。
● 可以在通風(fēng)柜下臺裝入恒溫水循環(huán)裝置進(jìn)行使用。
● 內、外裝都是使用的硬質(zhì)聚氯乙烯,適合使用酸、堿等的蝕刻清洗。
● 通過(guò)采用阻流板可以很好的排出比重較大的氣體。
通風(fēng)柜FHV共通規格
內外裝 |
硬質(zhì)聚氯乙烯材料 5mm厚 |
操作臺面(選定) |
硬質(zhì)聚氯乙烯材料 5mm厚 |
門(mén) |
透明聚氯乙烯材料 5mm厚 |
水栓 |
120型:2個(gè)(自來(lái)水、純水用各1個(gè)) 150/180型:4個(gè)(自來(lái)水、純水用各2個(gè)) |
插座 |
AC220V 10A,2個(gè) |
熒光燈 |
120/150型30W、180型40W各一個(gè) |
通風(fēng)柜FHV規格
型號 |
FHV-120 |
FHV-150 |
FHV-180 |
||||
外形尺寸 |
深×高 |
750×1850mm |
|||||
寬 |
1200mm |
1500mm |
1800mm |
||||
重量 |
約200kg |
約230kg |
約250kg |
||||
排氣風(fēng)量 |
10m3/min |
13m3/min |
15m3/min |
||||
機內靜壓(推薦值) |
50Pa (5mmH2O) |
59Pa (6mmH2O) |
40Pa (4mmH2O) |
通風(fēng)柜FHV機型一覽表
無(wú)排風(fēng)機 |
FHV-120 |
FHV-150 |
FHV-180 |
有排風(fēng)機 |
FHV-120B |
FHV-150B |
FHV-180B |
陶瓷鋼板(K) |
FHV-120K |
FHV-150K |
FHV-180K |